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DH-VAM-1 真空的獲得與測(cè)量實(shí)驗(yàn)儀

實(shí)驗(yàn)?zāi)康模?/strong>

1、了解最基本的真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),掌握真空系統(tǒng)的操作方法; 

2、了解真空技術(shù)的基本知識(shí),學(xué)習(xí)真空系統(tǒng)的基本方程; 

3、掌握高真空的獲得、測(cè)量的基本原理及方法; 

4、機(jī)械泵抽速測(cè)定; 

5、擴(kuò)散泵抽速測(cè)定; 

6、系統(tǒng)漏率的測(cè)定。

設(shè)備組成:

1、實(shí)驗(yàn)儀主要由真空儲(chǔ)氣瓶、玻璃油擴(kuò)散泵、真空測(cè)量?jī)x表、高真空閥門、流導(dǎo)調(diào)節(jié)管、電控系統(tǒng)等組成。

2 、設(shè)備的真空室、 由擴(kuò)散泵、真空管路部件均可視化設(shè)計(jì); 

3、電氣控制有安全防護(hù),防止誤操作對(duì)人員和設(shè)備造成損傷; 

4、采用不銹鋼、真空波紋管結(jié)合管路,閥門為 316L 不銹鋼高壓雙卡套球閥;

技術(shù)參數(shù):

1、真空儲(chǔ)氣瓶: 304 不銹鋼,

VAM-1.png

尺寸:約 φ200 x 480mm (以實(shí)際設(shè)計(jì)為準(zhǔn));容積約 15L 

2、真空測(cè)量:數(shù)顯復(fù)合真空計(jì);電阻規(guī)+電離規(guī)測(cè)壓范圍: 1xE5~1xE-5 Pa  數(shù)量: 2套

3、真空系統(tǒng): DRV10 雙極旋片泵+四級(jí)玻璃擴(kuò)散泵, 擴(kuò)散泵需水冷; 

4、極限真空: 5xE-3 Pa; 

5、3 組流導(dǎo)調(diào)節(jié)管路,組成三種不同的抽氣流導(dǎo), 

6、工作電源: AC220V ± 5%50Hz; 

7 、整機(jī)功率: 2kW 

8、用戶需自備或另購(gòu)工業(yè)水冷機(jī)組 

9、機(jī)架:鋁合金型材機(jī)架。

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